பார்வைகள்: 0 ஆசிரியர்: தள ஆசிரியர் வெளியிடும் நேரம்: 2025-03-21 தோற்றம்: தளம்
| மாறுபாடு பரிமாணம் | பிஏ குழாய் | EP குழாய் |
| முக்கிய தொழில்நுட்பம் | ஹைட்ரஜன் பாதுகாக்கப்பட்ட தொடர்ச்சியான அனீலிங் | எலக்ட்ரோகெமிக்கல் அனோடிக் கரைப்பு + மைக்ரோ-எட்ச்சிங் |
| மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை ரா | 0.05~0.25μm | ≤0.01μm |
| மேம்படுத்தப்பட்ட அரிப்பு எதிர்ப்பு | 20-30% அதிகரிக்கும் | 300-500% அதிகரிக்கும் |
| வழக்கமான பயன்பாடு | குறைக்கடத்தி உபகரணங்கள்/துல்லிய தாங்கு உருளைகள் | உயிர் மருந்து/அதிக-உயர் தூய்மை திரவ அமைப்புகள் |
செயல்முறை ஓட்டம்: குளிர் உருட்டல் → டிக்ரீசிங் → ஹைட்ரஜன் பாதுகாப்பு அனீலிங் (1050-1150 ℃) → விரைவான குளிர்ச்சி
முக்கிய கட்டுப்பாட்டு புள்ளி:
ஹைட்ரஜன் தூய்மை ≥99.999% (ஆக்சிஜனேற்றம் நிறமாற்றத்தைத் தடுக்க)
அனீலிங் வேகம் 2-5மீ/நிமி (தானிய அளவின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு)
செயல்முறை: அல்காலி கழுவுதல் → அமிலம் செயல்படுத்துதல் → மின்னாற்பகுப்பு பாலிஷ் (மின்னழுத்தம் 12-18V) → செயலற்ற சிகிச்சை
செய்முறை:
எலக்ட்ரோலைட்: 65% பாஸ்போரிக் அமிலம் + 15% சல்பூரிக் அமிலம் + 20% கிளிசரின் (வெப்பநிலை 50±2℃)
தற்போதைய அடர்த்தி: 30-50A/dm² (நுண்ணிய புடைப்புகளை துல்லியமாக நீக்குதல்)
BA குழாய்கள்: தொடர்ச்சியான அலை அலையான அமைப்பு (படம் A), பட்டுத் தொடுதலைப் போன்றது.
EP குழாய்கள்: தேன்கூடு நானோபிட்கள் (படம் B), மேற்பரப்பு பகுதி 40% வரை குறைக்கப்பட்டது.
| சோதனை திட்டம் | பிஏ குழாய் |
EP குழாய் | வெற்றியாளர் |
| உப்பு தெளிப்பு சோதனை | 480h சிவப்பு துரு இல்லை | 2000h அரிப்பு இல்லை | EP |
| பாக்டீரியா இணைப்பு விகிதம் | 8.7×10⊃3; CFU/cm² | 50 CFU/cm² | EP |
| திரவ எச்சம் | 0.32μL/cm² | 0.07μL/cm² | EP |
| கீறல் எதிர்ப்பு | 5N ஏற்றம் கீறல்கள் இல்லை | 3N சுமை மைக்ரோட்ரேஸ் தோன்றுகிறது | EP |
செமிகண்டக்டர் தொழில்: டோக்கியோ எலக்ட்ரானுக்கு (TEL) செதில் பரிமாற்ற குழாய்கள் BA செயலாக்கமாக இருக்க வேண்டும்
ஆட்டோமொபைல் உற்பத்தி: டெஸ்லா 4680 பேட்டரி ஷெல் சிறப்பு BA குழாய் (கடினத்தன்மை Ra ≤ 0.1μm)
உயர்தர வீட்டு உபயோகப் பொருட்கள்: ஜெர்மனி மில்லர் கிச்சன் ஹூட் உள் சுழற்சி அமைப்பு BA செயலாக்கத்தைப் பயன்படுத்தி
வெற்றிகரமான வழக்குகள்:
சவுதி அரேபியா NEOM ஸ்மார்ட் சிட்டி நீர் வழங்கல் திட்டத்திற்கு DN200 BA குழாய் வழங்கவும், 45℃ உயர் வெப்பநிலை + அதிக குளோரின் சூழலுக்கு கீழ் 18 மாதங்களுக்கு நிலையான செயல்பாடு.
உயிர் மருந்துகள்: FDA 21 CFR 211.65 தூய்மைத் தேவைகளுடன் இணங்குதல்
உணவு பதப்படுத்துதல்: ராயல் ஃப்ரைஸ்லேண்டின் பால் CIP அமைப்புக்கான நிலையான தேர்வு.
அல்ட்ரா-உயர் தூய்மை வாயுக்கள்: TSMCயின் 5nm சிப் கடையின் சிறப்பு எரிவாயு போக்குவரத்து குழாய்கள்

├─ ஆம் → EP குழாயைத் தேர்வுசெய்க
└─ இல்லை → பட்ஜெட் கட்டுப்பாடுகள் உள்ளதா?
├─ ஆம் → BA குழாயைத் தேர்வு செய்யவும் (செலவு குறைவு↓40%)
└─ இல்லை → மிகக் குறைந்த மேற்பரப்பு எச்சம் தேவையா?
├─ ஆம் → EP குழாயைத் தேர்வு செய்யவும் (மீதமுள்ள அளவு கீழே ↓78%)
└─ இல்லை → BA குழாயைத் தேர்வு செய்யவும் (சிறந்த செலவு செயல்திறன்)
உள்ளடக்கம் காலியாக உள்ளது!
உள்ளடக்கம் காலியாக உள்ளது!
துருப்பிடிக்காத எஃகு விளிம்புகள் மற்றும் பொருத்துதல்களுக்கான வழிகாட்டி
துருப்பிடிக்காத எஃகு விளிம்புகள் என்றால் என்ன? வகைகள், பயன்கள் & நன்மைகள்
பல்வேறு வகையான துருப்பிடிக்காத எஃகு விளிம்புகள் மற்றும் அவற்றின் பயன்பாடுகள்
கடல் பயன்பாடுகளில் நிக்கல் அலாய் குழாய்கள் மற்றும் துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய்களை ஒப்பிடுதல்